實(shí)驗(yàn)高溫馬弗爐種類很多,但大致可以從以下幾個(gè)方面分類:
1、從爐膛形狀上可分為:箱式馬弗爐和管式馬弗爐;
2、從操作程序上可分為:人工編程馬弗爐和人工智能馬弗爐;
3、從實(shí)驗(yàn)所需氣氛條件可分為:氧化氣氛馬弗爐和真空氣氛馬弗爐。
4、從溫度上可分為:低溫馬弗爐(600℃以下),中溫馬弗爐(600℃-1000℃),高溫馬弗爐(1000℃-1700℃),超高溫馬弗爐(1800℃-2600℃)。
因?yàn)閷?shí)驗(yàn)的物料較少,大都會用坩堝來盛放,根據(jù)物料的不同,溫度的不同,來選購坩堝,坩堝大都分為:坩堝可分為石墨坩堝、粘土坩堝和金屬坩堝三大類。實(shí)驗(yàn)電爐采用的是高純剛玉坩堝,石英坩堝,石英含鋯坩堝。
1、剛玉坩堝是由多孔熔融氧化鋁組成,質(zhì)堅(jiān)而耐熔。
2、剛玉坩堝適于用無水Na2C03等一些弱堿性物質(zhì)作熔劑熔融樣品,不適于用Na 202、NaOH等強(qiáng)堿性物質(zhì)和酸性物質(zhì)作熔劑(如K2S 207等)熔融樣品。
3、石英坩堝可在1650度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑硅,是發(fā)展大規(guī)模集成電路*的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。它具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大、精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
4、不能和HF接觸,高溫時(shí),極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽反應(yīng)。
5、石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。
6、石英質(zhì)脆,易破,使用時(shí)要注意。
7、除Hf外,普通稀無機(jī)酸可用作清洗液。
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